主要通過擦拭布的材質(zhì)、吸收率、潔凈度和費(fèi)用來評估無塵布。在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中，對無塵擦拭布的塵粒、離子、ESD等有很高的要求。專業(yè)的無塵布需進(jìn)行嚴(yán)格的測試以達(dá)到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn)，一般無塵布需進(jìn)行這些測試：
一、抗磨損性測試：測試無塵布單位面積的重量，一般要求在150-300克/平米
二、吸液量和吸液速度測試：吸液量一般不小于400克/平米，吸液速度一般不大于1秒
三、IC測試：定性定量地測量無機(jī)陰陽離子含量
四、NVR測試：測試單位面積上的不揮發(fā)性殘留物
五、LPC測試：可是無塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)
六、FTIR測試：傅立葉變化紅外線光譜測試
七、GC測試：分析無塵布上有機(jī)污染物種類和含量。
