主要通過(guò)擦拭布的材質(zhì)、吸收率、潔凈度和費(fèi)用來(lái)評(píng)估無(wú)塵布。在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中，對(duì)無(wú)塵擦拭布的塵粒、離子、ESD等有很高的要求。專業(yè)的無(wú)塵布需進(jìn)行嚴(yán)格的測(cè)試以達(dá)到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn)，一般無(wú)塵布需進(jìn)行這些測(cè)試：
一、抗磨損性測(cè)試：測(cè)試無(wú)塵布單位面積的重量，一般要求在150-300克/平米
二、吸液量和吸液速度測(cè)試：吸液量一般不小于400克/平米，吸液速度一般不大于1秒
三、IC測(cè)試：定性定量地測(cè)量無(wú)機(jī)陰陽(yáng)離子含量
四、NVR測(cè)試：測(cè)試單位面積上的不揮發(fā)性殘留物
五、LPC測(cè)試：可是無(wú)塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)
六、FTIR測(cè)試：傅立葉變化紅外線光譜測(cè)試
七、GC測(cè)試：分析無(wú)塵布上有機(jī)污染物種類(lèi)和含量。
